Junkosha フラット&ハイフレックスケーブル

低アウトガスケーブル

5G、AI、自動運転、クラウドサービス、IoT、EV車、メタバースなどにより半導体の需要は大きく伸びています。同時に、ムーアの法則に基づき、半導体露光では線幅がより細くなる一方でプロセスの精密化が進んでいます。それに伴い、プロセス中のパーティクルやアウトガスの問題が深刻化しており、これに対処するためにはよりクリーンな材料(低パーティクル、低アウトガス)が求められています。それらの材料は、様々な技術分野での進展に対応するために重要です。
これらの要求に応えるため、潤工社は40年以上にわたり、クリーンで高耐久なケーブルを提供しています。これらのケーブルは、従来以上にクリーン性(アウトガスの発生やケーブル摩耗による発塵が少ないこと)と柔軟性に特に重点を置いています。潤工社のラインナップには、常圧から中真空環境まで使用可能なLOタイプと、高真空から超高真空まで使用可能なSLOタイプがあります。

特長

●アウトガス性:他の材料に比較してアウトガスの発生量は極めて微少です。
●柔軟性:フッ素ポリマーの欠点である柔軟性を大幅に改善しています。
●高耐久性:可動部においてお客様の期待する寿命に併せた提案が可能です。
●低摩擦性:他の材料と比較して低摩擦性が飛躍的に向上しています。

用途

●半導体・FPD製造装置をはじめとする各種高精度機械
●人工衛星やその他宇宙機器
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