Junkosha フラット&ハイフレックスケーブル

低アウトガスケーブル FPC代替SLOタイプ

超高真空環境における伝送路は、ケーブルだけでなく、FPC(Flexible Printed Circuits)も存在します。通常のFPCはポリイミド基材を使用しますが、ポリイミドには吸湿性があり、チャンバー内で常圧から超高真空環境の真空度まで排気するには時間がかかります。潤工社では、吸湿性がほぼゼロであるフッ素ポリマー基材を使用し、超低アウトガスケーブル(SLO)のクリーン化コンセプトと、医療用プローブケーブルなどで培った細線化技術(~AWG50)を組み合わせ、フラットケーブルではありますが、FPCと変わらない柔軟性や省スペース性を持った、FPC代替SLOケーブルを提供しています。
ご使用されるFPC用コネクタのピッチに合わせた形状や心数での提案が可能であり、信号伝送に優れたシールド付ケーブルや、デジタル伝送に最適な2コ撚りシールド線での提案も可能です。

特長

●アウトガス性:超高真空環境においてアウトガスの発生量は極めて微少です。
●柔軟性:髪の毛より細い導体を使用することで、FPC並みに高い柔軟性を持ちます。
●信号伝送性:ご要求に応じて、シールドの付与、2コ撚り対応が可能です。
●長尺対応可能

用途

●半導体製造におけるEUV露光装置、SEM、マスク検査装置、マスク描画装置
●人工衛星やその他宇宙機器

テクニカルデータ

フラットタイプ
シース材料EPTFE&フッ素ポリマー
シース色
コア信号,電力
最大ケーブル幅 [mm (inch)]40
最小曲げ半径> 10 × ケーブル外径 a)
使用温度範囲 [℃]–20 to +200 a)
パーティクル b) (ISO14644-1)Class1
アウトガス[mBar x l/sec × cm2]
H20 (AMU 18) c)3.3E-10
CxHyv (揮発性CxHy) (AMU 45-100) c)3.6E-12
CxHynv (不揮発性CxHy) (AMU 101-200) c)3.3E-13
パーティクルフリー対応可否対応可能
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