半導体・FPD製造装置やその他の計測装置、宇宙機器においては、常圧環境から中真空環境において発生する樹脂材料からのアウトガスがレンズを曇らせ、装置そのものの性能を低下させる事象が確認されています。潤工社では、最外層シースに特殊加工を施したフッ素ポリマーを使用しており、これによりアウトガス性、柔軟性、低摩擦性、耐久性が飛躍的に向上しました。その結果、常圧環境から中真空環境までで使用可能な低アウトガスケーブルを提供しています。
潤工社のケーブルは、ご使用環境や期待される寿命に合わせて心数やシールドをカスタマイズすることが可能です。また、ご使用方法に応じて、ラウンド型とフラット型のケーブルのご提案も致します。
潤工社のケーブルは、ご使用環境や期待される寿命に合わせて心数やシールドをカスタマイズすることが可能です。また、ご使用方法に応じて、ラウンド型とフラット型のケーブルのご提案も致します。
特長
●アウトガス性：常圧～中真空環境においてアウトガスの発生量は極めて微少です。
●柔軟性：フッ素ポリマーの欠点である柔軟性を大幅に改善しています。
●高耐久性：可動部においてお客様の期待する寿命に併せた提案が可能です。
●低摩擦性：他の材料と比較して低摩擦性が飛躍的に向上しています。
●柔軟性：フッ素ポリマーの欠点である柔軟性を大幅に改善しています。
●高耐久性：可動部においてお客様の期待する寿命に併せた提案が可能です。
●低摩擦性：他の材料と比較して低摩擦性が飛躍的に向上しています。
用途
●半導体・FPD製造工程におけるDUV露光装置
●人工衛星やその他宇宙機器
●人工衛星やその他宇宙機器
テクニカルデータ
| ラウンドタイプ | フラットタイプ | |
| シース材料 | EPTFE&フッ素ポリマー | EPTFE&フッ素ポリマー |
| シース色 | 白 | 白 |
| コア | 信号,電力 | 信号,電力,空気,流体 |
| 最大自立長 [mm (inch)] | - | 600(24) a) |
| 最大ケーブル幅 [mm (inch)] | - | 90 |
| 最小曲げ半径 | > ケーブル外径の10倍以上を推奨 a) | > 10 × ケーブル外径の10倍以上を推奨 a) |
| 最大加速度[m/sec2] b) | - | 25 a) |
| 速度 [m/sec] | - | ＞3 a) |
| 屈曲寿命(曲げR 50 mm、最大 4G 加速度の場合) | - | ＞3,000万回 a) |
| 使用温度範囲 [℃] | –20 to +200 a) | –20 to +200 a) |
| パーティクル b) (ISO14644-1) | - | Class1 |
| パーティクルフリー対応可否 | 対応可能 | 対応可能 |
| UL規格 a) | UL対応品あり | UL対応品あり |
パーティクルデータ
| 粒子数/ft³ | 速度 | ||
| 0.5 m/s | 1.0 m/s | 2.0 m/s | |
| 0.1μm | 0.0 | 0.0 | 0.0 |
| 0.2μm | 0.0 | 0.0 | 0.0 |
| 0.3μm | 0.0 | 0.0 | 0.0 |
| 0.5μm | 0.0 | 0.0 | 0.0 |
| 1.0μm | 0.0 | 0.0 | 0.0 |
| 5.0μm | 0.0 | 0.0 | 0.0 |
※Fraunhofer IPA社のデータをもとに作成。
構成する材料が同等製品での評価結果となります。
構成する材料が同等製品での評価結果となります。
シース材料アウトガス発生量の比較
- アウトガス発生器
- 試料を不活性ガス気流中で加熱し、試料から発生したアウトガスを吸着剤に捕集・濃縮した後、GC-MS(ガスクロマトグラフィー-質量分光分析法)を用いて測定。(実測例であり保証値ではありません。)
- ケーブル柔軟性
- 1000mmのケーブルで直径約300mmの輪を作り、重ね合わせた部分を上端で支え、下端には910gの荷重をかけ5秒後に輪の扁平率を測定します。扁平率=a/bとします。
- 低摩擦性
- パイプ形状に加工した相手材を板状の試験片に押し付けながら回転させ、動摩擦係数を求めます。
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