半導体製造装置をはじめとする各種高精度機械の技術革新にともない、それらに配線されるケーブルには、従来以上にクリーン性（アウトガスの発生やケーブル摩耗による発塵が少ないこと）、柔軟性への要求が高まっています。潤工社ではこれらの要求に応えるクリーンで高耐久なケーブルを開発しています。
最外層シースに特殊加工を施したフッ素ポリマーを使用し、アウトガス性・柔軟性・低摩擦性を飛躍的に向上させたケーブルです。
最外層シースに特殊加工を施したフッ素ポリマーを使用し、アウトガス性・柔軟性・低摩擦性を飛躍的に向上させたケーブルです。
特長
●アウトガス性：他の材料に比較してアウトガスの発生量は極めて微少です。
●柔軟性：フッ素ポリマーの欠点である柔軟性を大幅に改善しています。
●低摩擦性：他の材料と比較して低摩擦性が飛躍的に向上しています。
●柔軟性：フッ素ポリマーの欠点である柔軟性を大幅に改善しています。
●低摩擦性：他の材料と比較して低摩擦性が飛躍的に向上しています。
用途
●半導体製造装置をはじめとする各種高精度機械
シース材料アウトガス発生量の比較
- アウトガス発生器
- 試料を不活性ガス気流中で加熱し、試料から発生したアウトガスを吸着剤に捕集・濃縮した後、GC-MS(ガスクロマトグラフィー-質量分光分析法)を用いて測定。(実測例であり保証値ではありません。)
- ケーブル柔軟性
- 1000mmのケーブルで直径約300mmの輪を作り、重ね合わせた部分を上端で支え、下端には910gの荷重をかけ5秒後に輪の扁平率を測定します。扁平率=a/bとします。
- 低摩擦性
- パイプ形状に加工した相手材を板状の試験片に押し付けながら回転させ、動摩擦係数を求めます。
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