フッ素ポリマーの卓越した耐薬品性・耐熱性・耐寒性に優れたチューブです。
また接液面となる内層に高純度PFA、外層にバリア性フッ素ポリマーを使用したハイバリアPFAチューブは、半導体製造ラインでの安全性と長寿命化を実現し、資源の有効活用にも貢献しています。
また接液面となる内層に高純度PFA、外層にバリア性フッ素ポリマーを使用したハイバリアPFAチューブは、半導体製造ラインでの安全性と長寿命化を実現し、資源の有効活用にも貢献しています。
特長
●耐熱、耐寒性が特に優れています。
●無負荷連続使用温度 PFA: -65～+260℃
FEP: -65～+200℃
●ほとんどの化学薬品、溶剤に対して不活性です。
●耐候性に優れ経年変化がありません。
●ほとんどのものが付着しにくく、たとえ付着しても容易に取れます。
●長期にわたり透視性を維持します。
●難燃性です。
●電気的特性が優れています。
●有毒物質溶出の恐れがありません。
●無負荷連続使用温度 PFA: -65～+260℃
FEP: -65～+200℃
●ほとんどの化学薬品、溶剤に対して不活性です。
●耐候性に優れ経年変化がありません。
●ほとんどのものが付着しにくく、たとえ付着しても容易に取れます。
●長期にわたり透視性を維持します。
●難燃性です。
●電気的特性が優れています。
●有毒物質溶出の恐れがありません。
用途
●半導体製造装置用チューブ（PFAチューブ）
●半導体製造ライン薬液配管用チューブ（ハイバリアPFAチューブ）
●半導体製造プラントガス供給・排気用チューブ（FEPチューブ）
●半導体製造プラントガス検知器用チューブ（ETFEチューブ）
●太陽電池パネル製造装置用チューブ
●ケミカルプラント用チューブ
●食品・薬品プラント用チューブ
●耐熱、高絶縁、高周波特性を必要とする各種機器
●塗装機器用チューブ
●プリンター用チューブ
●歯科機器用チューブ
●集中潤滑機器用チューブ
●分析機器用チューブ
●半導体製造ライン薬液配管用チューブ（ハイバリアPFAチューブ）
●半導体製造プラントガス供給・排気用チューブ（FEPチューブ）
●半導体製造プラントガス検知器用チューブ（ETFEチューブ）
●太陽電池パネル製造装置用チューブ
●ケミカルプラント用チューブ
●食品・薬品プラント用チューブ
●耐熱、高絶縁、高周波特性を必要とする各種機器
●塗装機器用チューブ
●プリンター用チューブ
●歯科機器用チューブ
●集中潤滑機器用チューブ
●分析機器用チューブ
| ハイバリアPFAチューブ | PFAチューブ | FEPチューブ | ETFEチューブ | |
| タイプ | TAH | TA | TF | TE（仕様書対応品） |
| 使用温度範囲 | -65~+180℃ | -65~+180℃ | -65~+150℃ | -65~+120℃ |
| 耐薬品性 | 優 | 優 | 優 | 良 |
| 主な用途 | 塩酸などの配管 | 純水配管 | CDA配管 （クリーンドライエアー） | ガス検知器配管 （高圧環境下で使用しないこと） |
個別カタログダウンロード
個別のカタログはそれぞれ下のボタンからダウンロードができます。
フッ素チューブの温度別最高使用圧力の計算方法
- フッ素チューブの温度別破壊圧力補正係数グラフ
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〔ある温度での破壊圧力〕=〔23°Cにおける破壊圧力(表参照)〕×〔グラフの補正係数〕
●使用圧力は気体:温度別破壊圧力の1/4以下、液体:温度別破壊圧力の1/6以下の圧力でご使用下さい。
ハイバリアPFAチューブの塩酸透過試験
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