フッ素ポリマーの卓越した耐薬品性・耐熱性・耐寒性に優れたチューブです。
また接液面となる内層に高純度PFA、外層にバリア性フッ素ポリマーを使用したハイバリアPFAチューブは、半導体製造ラインでの安全性と長寿命化を実現し、資源の有効活用にも貢献しています。

特長

●耐熱、耐寒性が特に優れています。
●無負荷連続使用温度 PFA: -65~+260℃
           FEP: -65~+200℃
●ほとんどの化学薬品、溶剤に対して不活性です。
●耐候性に優れ経年変化がありません。
●ほとんどのものが付着しにくく、たとえ付着しても容易に取れます。
●長期にわたり透視性を維持します。
●難燃性です。
●電気的特性が優れています。
●有毒物質溶出の恐れがありません。

用途

●半導体製造装置用チューブ(PFAチューブ)
●半導体製造ライン薬液配管用チューブ(ハイバリアPFAチューブ)
●半導体製造プラントガス供給・排気用チューブ(FEPチューブ)
●半導体製造プラントガス検知器用チューブ(ETFEチューブ)
●太陽電池パネル製造装置用チューブ
●ケミカルプラント用チューブ
●食品・薬品プラント用チューブ
●耐熱、高絶縁、高周波特性を必要とする各種機器
●塗装機器用チューブ
●プリンター用チューブ
●歯科機器用チューブ
●集中潤滑機器用チューブ
●分析機器用チューブ
ハイバリアPFAチューブPFAチューブFEPチューブETFEチューブ
タイプTAHTATFTE(仕様書対応品)
使用温度範囲-65~+180℃-65~+180℃-65~+150℃-65~+120℃
耐薬品性
主な用途塩酸などの配管純水配管CDA配管
(クリーンドライエアー)
ガス検知器配管
(高圧環境下で使用しないこと)

フッ素チューブの温度別最高使用圧力の計算方法

フッ素チューブの温度別破壊圧力補正係数グラフ
〔ある温度での破壊圧力〕=〔23°Cにおける破壊圧力(表参照)〕×〔グラフの補正係数〕
●使用圧力は気体:温度別破壊圧力の1/4以下、液体:温度別破壊圧力の1/6以下の圧力でご使用下さい。

ハイバリアPFAチューブの塩酸透過試験

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